高真空的获得与测量.docxVIP

高真空的获得和测量 19 系 04 级 姓名 刘畅畅 日期 2006 年 5 月 19 日 学号 P实验目的： 本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空，用静态升压法和氦质谱法检漏，并对比两种方法的特点. 实验原理： 一．高真空的测量——电离真空规。 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离，产生正离子和电子。电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度n ，即正比于总压强 p ，故产生的正离子数N 正比于压强p 。规管的结构如图2.6.3-l 所示，它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的 加速极和收集离子的收集极等三部分组成。其接线图如图 2.6.3－2 所示，规管中心热阴极F K CC C接零电位，为U 为热阴极加热电压；加速极G 接正电位U （几百伏）；离子收集极接负电位U （几十伏），其作用是使由阴极 F 发射的电子，在加速电位U 的作用下，飞向G 极使电子能量增加，大部分电子通过加速极G 飞向圆筒型收集极C ，电子轨迹如图 2.6.3－3 所示，在G 、C 之间拒斥场的作用下电子减速，在速度减到零时，电子返转飞向G ，在电子飞向G 、C 空间时，电子又在拒斥场作用下减速，直到速度为零又返向G 极，向G 、C 方向飞行。电子在这种返往运动中与气体分子不断发生碰撞，把能量传给气体分子，使其电 离，而电子最终被加速极所收集；在G 、C 间产