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高真空的获得和检漏 04 级 6 系 学号： PB姓名：高盛华 试验目的： 1、本实验学习用机械泵、扩散泵机组获得高真空； 2、用静态升压法检漏，并总结其特点. 实验原理：1 高真空的测量——电离真空规 具有足够能量的电子与气体分子碰撞会引起分子的电离 .产生正离子和电子，电子与分子的碰撞次数正比于分子数密度 n,即正比于总压强 p，故产生的正离子数N＋正比于压强p.规管的结构如图pl 所示,它主要由发射电子的热阴极（灯丝）、加速并收集电子的加速极和收集离子的收集极等三部分组成.其接线图如图 p2 所示,规管中心热阴极 F 接零电位,为 U K 为热阴极加 P1 普通电离规管 p2 电离计线路图 p3 电子轨迹示 意图 对于一定结构的规管，当各电极电位一定时，对某种气体，在规管中电离所 形成的正离子流 I+正比于发射电子电流 I e 和气体的压强 p，即 I+=KI p e 其中比例常数 K 称为电离计的灵敏度，其意义是在单位电子电流、单位压强下所得到的离子流，其单位为 1／Pa， 2.真空检漏 一个高真空系统，如果经过长时间抽气，仍达不到预期的真空度，在排除泵的因素后，可能的原因有： 蒸气源、表面放气、真漏 用静态升压法检漏： 在高真空系统，漏孔或漏隙用肉眼一般是看不出来的我们通常采用静态升压法,即把系统抽到一定压强后,关闭阀门，将被检部分与泵隔开，由于漏