碳化硅外延片表面缺陷图谱.pdfVIP

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  • 2022-07-23 发布于河南
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GB/T ××××—×××× 附录A (资料性附录) 缺陷图谱 1.掉落物 (Downfall)缺陷图谱 放大倍数为:100倍 1 GB/T ××××—×××× 掉落物在ScN、QZrO、VIS-PL和NUV-PL通道呈现的形状 2 三角形 (Triangle)缺陷图谱 放大倍数为:100倍 2

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