枣庄刻蚀设备项目可行性研究报告.docx

泓域咨询/枣庄刻蚀设备项目可行性研究报告 报告说明 泛林半导体依靠自身巨大的研发投入和强大的研发团队，自主研发核心技术，走在半导体设备的技术前沿，开创多个行业标准，如其KIYO系列创造了业内最高生产力、选择比等多项记录，其ALTUSMaxE系列采用业界首款低氟钨ALD工艺，被视作钨原子层沉积的行业标杆。除此之外，泛林半导体首创ALE技术，实现了原子层级别的可变控制性和业内最高选择比。 根据谨慎财务估算，项目总投资42115.08万元，其中：建设投资33668.05万元，占项目总投资的79.94%；建设期利息868.75万元，占项目总投资的2.06%；流动资金7578.28万元，占项目总投资的