压电式传感器介绍和学习PPT课件.pptx

压电式传感器介绍和学习; 压电式传感器是以某些晶体受力后在其表面产生电荷的压电效应为转换原理的传感器。它可以测量最终能变换为力的各种物理量，例如力、压力、加速度等。 压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 ;第一节 压电效应;第二节 压电材料; 从晶体上沿XYZ轴线切下一片平行六面体的薄片称为晶体切片。当沿着X轴对压电晶片施加力时，将在垂直于X轴的表面上产生电荷，这种现象称为纵向压电效应。沿着y轴施加力的作用时，电荷仍出现在与X轴垂直的表面上，这称之为横向压电效应。当沿着Z轴方向受力时不产生压电效应。; 纵向压电效应产生的电荷为 qxx＝dxxFx (5-1) 式中，qxx为垂直于X 轴平面上的电荷，dxx为压电系数，下标的意义为产生电荷的面的轴向及施加作用力的轴向；Fx为沿晶轴X方向施加的压力。 由上式看出，当晶片受到X 向的压力作用时，qxx 与作用力Fx成正比，而与晶片的几何尺寸无关。如果作用力Fx改为拉力时，则在垂直于X轴的平面上仍出现等量电荷，但极性相反。; 横向压电效应产生的电荷为 (5-2) 式中，qXY为了轴向施加压力，在垂直于X 轴平面上的电荷 dXY为压电系数，Y 轴向施加压力，在垂直于X 轴平面上产生电荷时的压电系数；FY为沿晶轴Y方向施加的压力。 ; 根据石英晶体的对称条件dXX=-dXY，所以 由上式可以看出，沿机械轴方向向晶片施加压力时，产生的电荷是与几何尺寸有关的，式中的负号表示沿Y轴的压力产生的电荷与沿X轴施加压力所产生的电荷极性是相反的。 ; 石英晶片受压力或拉力时，电荷的极性如下图所示。 ;; 如果在X 轴方向施加压力，如图5－3b所示，则氧离子挤入硅离子2和6间，而硅离子4挤入氧离子3和5之间，结果在表面A上出现正电荷，而在B表面上出现负电荷。如果所受的力为拉力时，在表面A和B上的电荷极性就与前面的情况正好相反。 如果沿y轴方向施加压力时，则在表面A和B上呈现的极性如图5－3c所示。施加拉力时，电荷的极性与它相反。 若沿Z 轴方向施加力的作用时，由于硅离子和氧离子是对称的平移，故在表面没有电荷出现，因而不产生压电效应。; ;;三、 压电材料及压电元件的结构;（2）水溶性压电晶体 这类压电晶体有酒石酸钾钠(NaKC4H4O64H20)、硫酸锂(Li2SO4H2O)、磷酸二氢钾(KH2PO4)等。水溶性压电晶体具有较高的压电灵敏度和介电常数，但易于受潮，机械强度也较低，只适用于室温和湿度低的环境下。 （3 ）铌酸锂晶体 铌酸锂是一种透明单晶，熔点为1250℃，居里点为1210℃。它具有良好的压电性能和时间稳定性，在耐高温传感器上有广泛的前途。; 4) 铌镁酸铅压电陶瓷(PMN) 这是一种由Pb(MgNb)O3、PbTiO3、PbZrO3组成的三元系陶瓷。它具有较高的压 电系数和居里点，能够在较高的压力下工作，适合作为高温下的力传感器。 （5） 压电半导体 有些晶体既具有半导体特性又同时具有压电性能，如ZnS、CaS、GaAs等。：因此既可利用它的压电特性研制传感器，又可利用半导体特性以微屯子技术制成电子器件。两者结合起来，就出现了集转换元件和电子线路为一体的新型传感器，它的前途是非常远大的。 （6） 高分子压电材料 某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后，具有一定的压电性能，这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯PVF2、聚氟乙烯PVF、聚氯乙烯PVC、聚γ甲基-L谷氨酸脂PMG等。这是一种柔软的压电材料，不易破碎，可以大量生产和制成较大的面积。 如果将压电陶瓷粉末加入高分子化合物中，可以制成高分子—压电陶瓷薄膜，它既保持了高分子压电薄膜的柔软性，又具有较高的压电系数，是一种很有希望的压电材料。;;第三节 压电式传感器测量电路; 因此可以把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源，如图5－5a所示，也可以等效为—个电压源，如图5－5b所示。 ;;;;;;; 电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。它实际上是一个具有反馈电容的高增益运算放大器。图5－8是压电传感器与电荷放大器连接的等效电路。图中Cf ,为放大器的