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第1页/共39页去除SiO26.1 MEMS器件概念一个例子:NMOSFET→谐振栅晶体管（RGT） MEMS器件电容变化引起沟道电荷变化。Q=CV和MOS管相比，工作原理发生变化。但仍是四端器件（）.1第2页/共39页6.1 MEMS器件概念微系统集成的问题 工艺兼容性； 材料复用性； 描述一致性和仿真一致性； 设计复杂性； 处理电路多样性。 MEMS-采样/放大； 调制-解调； 模数变换； 数字信号处理； ……（）.1第3页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 1. 简单梁结构（）.1第4页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 1. 简单梁结构（）.1第5页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 2. 简单膜结构 （）.1第6页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 3. 多方向运动结构（）.1第7页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 4. 执行运动结构（）.1第8页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 （）.1第9页/共39页6.1 MEMS器件概念几种简单的MEMS结构 （）.1第10页/共39页版图微电子加工工艺KCL / KVL仿真:FEM / BEM6.1 MEMS器件概念多能域问题和复杂性设计问题 单片集成系统 = MEMS +电路