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- 2022-08-28 发布于重庆
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2022年中国电子特气行业市场现状及发展趋势分析 国产化率低【组图】
电子特气行业主要上市公司:中国电子特气行业上市公司包括:金宏气体(688106)、巨化股份 (600160)、昊华科技(600378)、雅克科技(002409)、华特气体(688268)等
本文核心数据:电子特种气体产品分类,电子特器在半导体制备中的应用比例,国内外电子特气行业市场份额情况
1、电子特气的概念
电子特种气体(简称电子特气),是指用于半导体、平板显示及其它电子产品生产的特种气体。在整个半导体行业的生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一个环节都离不开电子特气,而且所用气体的品种多、质量要求高,所以电子气体又有半导体材料的“粮食”之称。
在半导体制备过程中,电子特气供应主要有现场供气、储槽供气、瓶装供气三种模式,现阶段中国半导体制备过程主要使用现场供气和储槽供气两种,未来随着半导体制备集约化程度提升,现场供气将成为行业制备供应的最主要供应模式。
2、电子特器为半导体材料制备的第二耗材
随着半导体集成电路技术的发展,对电子气体的纯度和质量也提出了更高要求。高纯电子特种气体在制造环节使用较多,比如离子注进、气相沉积、洗涤、遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体,常见的有SiH4、PH3、ASH3、B2H6、N20、NH3、SF6、NF3、CF4、BC13、BF3、HCI、Cl2等。
根据中国半导
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