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2022-09-30 发布于广东
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微机械和微机电系统.ppt

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微机械和微机电系统;1.概述 ;定义与内涵;定义与内涵;2.微机械和微机电系统的相关基础 ;物理参量的微尺寸效应 ;微机械中的常用材料 ;微机械和微机电系统的技术基础 ;3 微传感器 ;3.1 机械量微传感器 ;3.1.1 位移微传感器 ;3.1.2 速度和流速微传感器 ;3.1.3 加速度微传感器 ;3.1.3 加速度微传感器 ;3.1.4 力、压力和应变微传感器 ;3.1.4 力、压力和应变微传感器 ;热微传感器 ;热微传感器 ;3.3 光微传感器 ;3.3 光微传感器 ;3.3 光微传感器 ;化学和电化学微传感器 ;化学和电化学微传感器 ;化学和电化学微传感器 ;化学和电化学微传感器 ;4 微致动器 ;静电型微致动器 ;4.1.1 静电旋转电机 ;4.1.1 静电旋转电机 ;4.1.1 静电旋转电机 ;4.1.2 静电直线电机 ;4.2 电磁型和磁致伸缩型微致动器 ;4.3 压电型微致动器 ;细管微机器人蠕动爬行的压电型致动器 ;自行式微机器人的压电V形驱动脚 ;压电型硅微泵、微阀 ;4.4 热变形微致动器 ;4.4 热变形微致动器 ;4.5 微机电系统的能源 ;5 微机器人 ;5.1 微机器人概述 ;5.1 微机器人概述 ;5.2 微机器人实例 ;5.2.1 轮式微机器人 ;5.2.2 履带式微机器人 ;5.2.2 履带式微机器人 ;5.2.3 昆虫型微机器人 ;5.2.3 昆虫型微机器人 ;5.2.4 蠕动式微机器人 ;5.2.4 蠕动式微机器人 ;5.2.4 蠕动式微机器人 ;6 微飞行器(MAV) ;6.2 微型飞行器(MAV)实例 ;微飞行器。 ;3.“黑寡妇”微飞行器。 ;4.“黄蜂”微型飞行器 ;扑翼式微飞行器 ;1. “飞行蝇” 微飞行器 ;1. “飞行蝇” 微飞行器 ;1. “飞行蝇” 微飞行器 ;2. 亚利桑那州大学的的扑翼式微飞行器 ;3. “微蝙蝠”扑翼式微飞行器 ;6.2.3 旋翼式微飞行器 ;6.2.3 旋翼式微飞行器 ;7 微型卫星 ;7 微型卫星 ;7 微型卫星 ;1. Aprize Star微型实验卫星 ;2.中国的微小卫星