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CORE MOR RO W
E09.C1 非接触式电容传感器—OEM式
版本：2.0.0 日期：2015-08-11
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E09.C1非接触式电容传感器用户手册 芯明天科技
产品概述
E09.C1 非接触式电容传感器具有较高的精度、分辨率和带宽。
灵活的模块系统配置，紧凑的传感器设计和非接触式测量原理易于
集成和应用，该测量系统具有很高性价比。
E509.C1 非接触式电容传感器，按照“电容式位移测量”的原
则进行操作。它基于一个理想的平板电容的原理，与定位目标一起
构成传感器，二者形成两个电极。
产品特性
任何导电体的非接触式测量
极限分辨率为2.5nm
带宽2 kHz（-3dB）
重复性5nm
紧凑型传感器设计（Φ10mm）
可集成在用户设备中
适用于200μm的测量范围
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E09.C1非接触式电容传感器用户手册 芯明天科技
产品应用
压电执行器
X和Y定位
轴向振动
位移检测
热膨胀
电容式传感器测量结果对比
图1.E509.C1电容式传感器
图2.常见的电容式传感器
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E09.C1非接触式电容传感器用户手册 芯明天科技
技术数据
型号 E09.C1
通道数 1
传感器类型 电容式（CAP）
量程范围 200μm
线性度 ±0.1μm
静态分辨率 0.0025μm
动态1kHz分辨率 0.1μm
传感器直径 10mm
静态重复性 0.005μm
信号温度稳定性 ＜0.005%FSO/℃
长期稳定性 ＜0.04%FSO/月
灵密度 50mV/μm
带宽 2kHz（-3dB）
传感器线长 1.6m
传感器输出接口 BNC
传感器输出电压 0至10V
工作温度范围 +10至+50℃
工作电压 ±15VDC/±50
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