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中国MEMS传感器行业发展现状及未来发展趋势分析 ??MEMS传感器即微机电系统（MicroelectroMechanicalSystems）在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。经过40多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。 ??过去几年中，MEMS传感器的销售额一直保持着稳步的增长。2017年，全球MEMS传感器和执行器总体市场规模为115亿美元，其中MEMS传感器为61亿美元，增长17.3%，预计2018年，全球MEMS传感器销售额将增长10%以上，达到68亿美元。 ??美国是MEMS产业、技术和产品的发源地，其发展水平世界领先。上世纪60年代，斯坦福等大学就从事MEMS领域的研究开发，佐治亚理工学院和美国加利福尼亚大学洛杉矶分校等众多美国大学几乎都建立有自己的MEMS晶圆生产线。美国麻省理工学院、斯坦福大学、加利福尼亚大学伯克利分校、凯斯西储大学等还开发用于MEMS研究的设备、仪器等，支撑其技术研究。各学校一边研究探索，同时也相互不断进行技术与业务的交流，并与产业界组建成联盟，促进MEMS技术及时转化成MEMS产品。 ??经过长期的发展，美国已发展为集官、产、学、研、金融等为一体的较为完整的MEMS产业体系。其用来进行MEMS产品生产的晶圆尺寸目前基本与IC同步，呈现大口径化、智能化，与人体神经元和大脑信息互通互联，与IC芯片、计算机软件、数据采集和处理技术等多位一体化发展的趋势。同时，应用领域也不断向军事、医疗、生物、仿生学、航空航天等领域全方位快速渗透和发展。 ??目前，美国主要的MEMS传感器公司有德州仪器（TI）、模拟器件（ADI）、飞思卡尔、楼氏电子（Knowles）、SiTime、惠普、IMT、SiliconMicrostructures（SMI）、GEInfrastructureSensing等。大部分半导体制造公司同时具有MEMS生产加工的业务。根据数据2017年全球MEMS传感器销售规模为61亿美元，其中美国占比23.8%，即为14.5亿美元。 ??欧洲各国政府积极制定相关规定推动MEMS产业和技术的发展，欧洲国家政府要求2012年汽车必须采用电子稳定控制（ESC）和轮胎压力监测系统。欧洲新车评估体系（NCAP）等汽车安全性评估系统虽然是一种自愿评估机制，但目前得到了欧洲各国政府、汽车俱乐部和消费者组织的支持。在德国，汽车MEMS传感器行业一直发展很好，企业RobertBosch仍是目前汽车MEMS传感器的龙头业者。 ??根据数据2017年全球MEMS传感器销售规模为61亿美元，其中德国占比10.5%，即为8.7亿美元。 ??日本政府从2007年起相继推出了与MEMS相关的国家项目，推动MEMS相关开发。例如，日本文部科学省科学技术及学术政策局推出“尖端融合领域革新创造基地的形成”计划课题——“微系统融合研究开发”启动了产学合作项目。日本东北大学与理光、丰田汽车等11家公司共同启动了产学合作项目。目标是通过走在MEMS领域前沿的研究小组与拥有具体应用对象的企业合作，使各种MEMS技术尽快达到实用水平。 ??日本MEMS传感器公司的最新技术发展动向主要有：智能视觉传感器、快速图像检索、人机接口MEMS器件、智能汽车感应系统等。如：日本东京早稻田大学研制出通过肺、舌头、声带和喉咙发出声音的机器人WT-4，使科学家们对大脑如何控制说话系统有了更深的了解。WT-4不仅使用机器肺脏与声带，还增加了机动灵活的舌头、柔软的上腭、嘴唇和牙齿，能够更加清晰地读出日本字母发音等，能模仿人类的声音。 ??目前，日本主要的MEMS公司有丰田电装DENSO、松下、欧姆龙（Omron）、Matsushita、冲电气（Oki）、村田制作所（Murata）、爱普生、三菱电机、夏普等。根据数据显示，2017年全球MEMS传感器销售规模为61亿美元，其中日本占比14.3%，即为8.7亿美元。