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- 2022-10-20 发布于北京
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本发明公开了一种带有功能层的薄膜体声波谐振器结构，能够使得谐振器的电极结构受到保护，整体提高谐振器的性能和可靠性。该薄膜体声波谐振器包括：依次堆叠的基底、功能层、底电极、压电层、顶电极和钝化层，所述压电层为掺钪氮化铝，所述功能层和所述钝化层为掺钪氮化铝。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115001433 A
(43)申请公布日 2022.09.02
(21)申请号 202110225365.4
(22)申请日 2021.03.01
(71)申请人 诺思（天津）微系统有限责任公司
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