X射线衍射极限纳米聚焦的前沿进展.docx

摘要 基于同步辐射和自由电子激光装置的X射线纳米聚焦技术已经成为开展前沿科学与技术研究的重要利器。鉴于X射线波段纳米聚焦材料的折射率都接近于1,故X射线聚焦元件与传统可见光元件有很大的不同。介绍了同步辐射装置中常用于X射线波段的衍射、折射和反射聚焦元件的工作原理,以及近年来从亚微米向单纳米极限聚焦发展的过程。当X射线聚焦趋近于衍射极限时,其加工、装调和准直带来的波前畸变会严重影响系统最终的聚焦性能,因此聚焦光的波前检测和波前相干光操控成为了需要着重发展的前沿技术方法。此外,对目前主流的纳米聚焦光束的波前检测技术和波前操控技术进行了介绍和比较,也对未来X射线衍射极限纳米聚焦元件的发展进行了展望。