洁净室标准规格说明.pdfVIP

洁净室标准规格说明（一） 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209 为多，今就209D 及209E 和世界上其 他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准209D 之洁净室规格。 表1-1 美国联邦标准209D 洁净室规格 至于209E 和209D 等最大之不同点在于209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“M”字头表示， 如M1 、M1.5 、M2 、M2.5 、M3依此类推，其目的在于配合国际公制单位之标