高频非共振激励下氮化硅薄膜机械振子的频率响应.docx

摘要 基于氮化硅薄膜和法布里-珀罗腔的光力系统在量子物理及精密测量等领域具有重要的应用价值。氮化硅薄膜机械振子共振频率的实时可调对于控制薄膜与光场的相互作用非常重要。提出并实验验证了利用高频非共振激励调控薄膜振子共振频率的方法。通过建立高频非共振激励下薄膜振子频率响应模型，搭建光纤干涉仪实时监测薄膜振子的运动情况，发现通过调节激励电压幅度可以有效地调控薄膜振子的共振频率，同等激励强度下基模共振频率的漂移量比高阶模大。同时利用该方法对薄膜振子的共振频率进行了稳频，使其漂移率为未加激励时的1/200。该方法为薄膜振子的频率稳定、研究机械模式间线性和非线性耦合以及多模腔光力相互作用等打下了技术基础。