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电子工业超纯水设备的工艺和应用.docx

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    PAGE PAGE 1 / 4 电子工业超纯水设备的工艺和应用 电子工业制备超纯水设备的工艺大致分成以下 3 种: 1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工 艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过滤器→中间水箱→ 阳床→阴床→混床(复床→超纯水箱 →超纯水泵→后置保安过滤器→用水点 2、采用反渗透水处理设备及离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水→多介质过滤器→活性炭过滤器→精密过 滤器→中间水箱→反渗透设备→混床(复床→超纯水箱→超纯水泵→后置保安过滤器→用水点 3、采用反渗透设备及电去离子(EDI 设备进行搭配制备

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