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本实用新型涉及一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备,用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光,包括工作台、对金刚石拉拔模具进行夹持的夹持装置,以及相对于金刚石拉拔模具进给方向可调、并柔性贴合于多晶薄膜涂层、以对多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置;还包括喷淋于多晶薄膜涂层表面的金刚石微粉混合液,以及对金刚石微粉混合液进行混料并输送的混料输送装置。本实用新型能够对金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层,尤其是针对多晶薄膜涂层的不规则曲面进行自动、均匀抛光,加工精度高,且加工效率高,而具有较好的使
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217728317 U
(45)授权公告日 2022.11.04
(21)申请号 202221906275.8 (51)Int.Cl.
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