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- 2022-11-11 发布于四川
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本实用新型公开了一种双转子功能头,包括经偏心机构相连的公转模块和小磨头,所述公转模块与基板固定、并驱动小磨头绕其输出轴环形旋转;还包括保持架,所述保持架与小磨头沿纵向滑动相连、与基板沿横向滑动相连。通过设置偏心机构分别连接公转模块和小磨头,使小磨头在公转模块的驱动下能够产生公转,从而能够在提高打磨效率的同时提升抛光均匀度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217750992 U
(45)授权公告日 2022.11.08
(21)申请号 202221888408.3
(22)申请日 2022.07.20
(73)专利权人 湖南诺贝斯特科技有限公司
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