半导体测试与分析1课件.pptVIP

用四探针法测量半导体电阻率应注意的问题 一、在电位探针与被测样品表面的接触界面处仍然存在着接触电阻。 ro是把接触面看成半球时的球半径，是一个μm的尺寸，因而接触电阻Rs的大小差不多是被测样品电阻率数值的千倍左右。 为了避免这个大电阻对电位测量的影响， 应选用高内阻数字电压表或电位差计来测量探针2、3之间的电位差。电位差计的阻抗要适中，阻抗太高时测量不灵敏，太低又容易在接触上产生足以影响精确度的压降，通常以阻抗不小于被测样品电阻率值十万到一百万倍为宜。 二、探针尖的处理： 以上的全部讨论都是从点电流源出发的，·亦即探针与被测表面的接触是半径很小的半球面，这就要求针尖