一种单晶炉炉体结构.pdfVIP

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2022-11-15 发布于四川
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一种单晶炉炉体结构.pdf

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本实用新型公开了一种单晶炉炉体结构，特点是所述的上炉室顶部设置有晶体提升旋转机构，下炉室底部设置有坩埚提升旋转机构；所述的上炉室与炉盖之间设置有隔离阀室；所述的上炉室、下炉室的内筒体与外筒体之间均设置有隔水条，隔水条一侧与内筒体贴合，另一侧与外筒体贴合；所述的内筒体表面设置有若干组导向槽，所述的导向槽呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体表面；所述的隔水条嵌入设置在导向槽内；所述的上炉室、下炉室的端面法兰内侧设置有环向的密封槽。优点是大大降低了水路发生窜水现象的几率；炉室的密封效果大大提高，有效

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217781327 U (45)授权公告日 2022.11.11 (21)申请号 202221214082.6 (22)申请日 2022.05.20 (73)专利权人光科真空科技（泰兴）有限公司地址