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本实用新型公开了一种半导体单晶衬底腐蚀装置，包括环形架，所述环形架的内侧设置有若干夹持件，且夹持件关于环形架呈中心对称分布，夹持件接近环形架的一侧设置有弹性件，且夹持件与环形架通过弹性件连接，单晶衬底置于环形架内侧，多个弹性件推动夹持件夹持单晶衬底；本实用新型通过将单晶衬底置于环形架的中部，并使单晶衬底位于多个夹持件之间，此时弹性件推动夹持件夹住固定单晶衬底，该装置在固定单晶衬底后，有效减小与单晶衬底的接触面积，从而提高单晶衬底的腐蚀效果，并且装置可夹持不同大小的单晶衬底，不仅提高了装置的检测精
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 217822679 U
(45)授权公告日 2022.11.15
(21)申请号 202221885408.8
(22)申请日 2022.07.21
(73)专利权人 徐州威聚电子材料有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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