SEMI S2半导体制程设备安全准则.pdf

SEMI S2半导体制程设备安全准则 1. 目的 (PURPOSE) 为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则。 2. 范围 (SCOPE) 适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。 3. 注意事项(LIMITATIONS) 3.1 不可作为检验是否符合本地法规要求的依据； 3.2 没有提供非常详细的半导体制程设备ESH准则； 3.3 参考了众多的国际性法规、标准等。但只是被引用的条文适 用于此标准，并不是被引用的标准或法规等所有条文都适用。 4. 参考标准(REFERENCED STANDARDS)