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一种用于半导体视觉检测的载物台.pdfVIP

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  • 2022-11-29 发布于四川
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一种用于半导体视觉检测的载物台.pdf

    本实用新型公开了一种用于半导体视觉检测的载物台，包括：用于放置芯片底膜的玻璃盘载物台面、用于固定所述玻璃盘载物台面的环状固定件，所述玻璃盘载物台面上沿横、纵向均匀开设有若干用于排空所述芯片底膜背后的空气的凹槽，所述环状固定件上靠近所述玻璃盘载物台面的圆周位置开设有用于固定和张紧所述芯片底膜的弧形槽。本实用新型对现有技术中的载物台所存在的技术缺点进行针对性改善，提供了更为完善、可靠的设计，能有效解决目前载物台存在的表面不平、芯片底膜难以张紧、排空、打光效果差等问题。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217903101 U (45)授权公告日 2022.11.25 (21)申请号 202221460996.0 (22)申请日 2022.06.10 (73)专利权人 深圳市智立方自动化设备股份有

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