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MEMS微镜阵列.pdfVIP

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  • 2022-11-29 发布于四川
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MEMS微镜阵列.pdf

    本实用新型提供一种MEMS微镜阵列，通过将多个MEMS微镜分别在布线基板上进行固定排列及与布线基板进行电连接，可显著提高MEMS微镜阵列的成品率，降低MEMS微镜阵列的加工制造难度，可使得制造工艺简单，并且MEMS微镜阵列的排布方式、排布位置、微镜数量等可更加灵活便捷，有助于进一步拓展MEMS微镜阵列的应用领域。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217902175 U (45)授权公告日 2022.11.25 (21)申请号 202221461383.9 (22)申请日 2022.06.10 (73)专利权人 安徽中科米微电子技术有限公司 地址

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