2022年我国及部分省市电子特气行业相关政策 加快高纯特种电子气体研发及产业化.docxVIP

2022年我国及部分省市电子特气行业相关政策 加快高纯特种电子气体研发及产业化 电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。由于半导体和微电子技术向更高性能、更高集成度发展，对电子特气的纯度提出了越来越高的要求，电子特气的的净化愈加关键和重要。 国家层面电子特气行业相关政策 近些年，为了促进电子特气行业发展，我国陆续发布了许多政策，如中国工业和信息化部等四部委联合发布的《新材料产业发展指南》中在重点任务中提出加快高纯特种电子气体研发及产业化,解决极大规模集成电路材料的制约问题。 发布时间 发布部门 政策名称 重点内容 2017.01  中国工业和信息化部等四部委  《新材料产业发展指南》  在重点任务中提出加快高纯特种电子气体研发及产业化,解决极大规模集成电路材料的制约问题。 2017.06  商务部  《重点新材料首批次应用示范指导目录( 2017年版）》  将特种气体明确列示，主要应用于集成电路、新型显示 2017.11  国家发改委  《增强制造业棱心竟争力三年行动计划( 2018-2020年)》