一种热解石墨气相沉积装置.pdfVIP

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  • 2022-12-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种热解石墨气相沉积装置,包括平台,所述平台顶面两侧分别设有螺杆和导向杆,所述螺杆螺纹连接螺套一,所述导向杆滑动连接导向块,所述螺套一和导向块均连接有固定板,所述固定板端部连接安装座,所述安装座连接在气相沉积炉一侧,本实用新型通过电机一带动齿轮一和齿轮二转动,从而带动螺杆转动,从而带动螺套一和固定板移动,从而调节气相沉积炉的高度,通过导向杆和导向块对气相沉积炉进行导向,通过万向轮方便装置进行移动,通过电机二带动双向螺杆转动,从而带动两个螺套二相互靠近或远离,从而带动活动杆移动,从

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217947684 U (45)授权公告日 2022.12.02 (21)申请号 202221135775.6 (22)申请日 2022.05.12 (73)专利权人 中国科学院金属研究所 地址 11

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