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一种高效化学气相沉积制备多孔钽的装置.pdfVIP

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  • 2022-12-13 发布于四川
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一种高效化学气相沉积制备多孔钽的装置.pdf

    本实用新型提供了一种高效化学气相沉积制备多孔钽的装置，包括沉积室、第一法兰及第二法兰，第二法兰上设有氢气进气管和五氯化钽进气管，第一法兰上一体化连接有载样台，载样台位于沉积室的内部，载样台的一端为封闭式结构，另一端设有与沉积室外部贯通的出气口，载样台上表面开设有凹槽，凹槽与出气口连通，凹槽内设有透气样品架。本实用新型将载样台的一端设计为封闭结构，另一端开设出与沉积室外部贯通的出气口，且上表面设有与出气口连通的凹槽，凹槽内设有透气样品架，透气样品架上放置待沉积样品，使反应气体必须流经待沉积样品进行

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217997313 U (45)授权公告日 2022.12.09 (21)申请号 202221601024.9 (22)申请日 2022.06.24 (73)专利权人 西安超码科技有限

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