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运输装置.pdfVIP

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  • 2022-12-18 发布于四川
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运输装置.pdf

    本申请实施例提供的运输装置用于与抽气泵连接，运输装置包括：基台和滑移组件。基台包括多个通孔，通孔用于与抽气泵的进气口连通；滑移组件设于基台，滑移组件包括导轨和滑座，导轨沿第一方向延伸，滑座与导轨可移动连接，多个通孔沿导轨设置。滑移组件中的滑座可减小悬浮粒子落入导轨内，通孔用于与抽气泵的进气口连通，运输装置在移动时产生的悬浮粒子，可以由抽气泵向通孔抽气吸走，从而可以提高运输装置的洁净度。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218069808 U (45)授权公告日 2022.12.16 (21)申请号 202222437650.5 (22)申请日 2022.09.14 (73)专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司 地址

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