薄膜材料的表征与测量方法.pptVIP

第六章 薄膜材料的表征方法;光学薄膜材料：薄膜的厚度、均匀性、光学性能。 随着电子技术的发展，研究内容扩展到薄膜的各种结构特征、成分分布、界面性质、电学性质。 如果没有先进分析手段的建立和广泛使用，就没有现代意义上的薄膜材料制备技术。;§6.1 薄膜厚度的测量;;§6.1.1 薄膜厚度的光学测量方法;从平行单色光源S射到薄膜表面一点A的光将有一部分被界面反射，另一部分在折射后进入薄膜中。 这一射入薄膜中的光束将在薄膜与衬底的界面上的B点再次发生反射和折射。 为简单起见，可先假设在第二个界面上，光全部被反射回来并到达薄膜表面的C点，在该点处，光束又会发生发射和折射。 要想在P点观察到光的干涉极大，其条件是直接反射回来的光束与折射后又反射回来的光束之间的光程差为波长的整数倍。;;不透明薄膜厚度测量的等厚干涉（FET）和等色干涉（FECO）法;透明薄膜厚度测量的干涉法薄膜测量的椭偏仪方法;（一）表面粗糙度仪法 用直径很小的触针滑过被测薄膜的表面，同时记录下触针在垂直方向的移动情况并画出薄膜表面轮廓的方法。 不仅可以用来测量表面粗糙度，也可以用来测量特意制备的薄膜台阶高度，得到薄膜厚度的信息。;粗糙度仪触针的头部是用金刚石磨成约2?10?m半径的圆弧后做成的。 在触针上加有1?30mg的可以调节的压力。 垂直位移可以通过机械、电子和光学的方法被放大几千倍甚至一百万倍，因此垂直位移的分辨率