晶圆解键合设备.pdfVIP

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2022-12-24 发布于四川
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晶圆解键合设备.pdf

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本实用新型属于晶圆解键合技术领域，尤其是晶圆解键合设备，针对现有的技术中存在晶圆解键合时，便需要使用晶圆解键合设备，因此还存在晶圆在解键合时，晶圆通常是放置在工作台上，导致在解键合时晶圆容易受到外力晃动或震动导致偏移，使得激光烧灼偏移，导致晶圆报废的问题，现提出如下方案，其包括外壳、放置台、电机、电动吸盘、激光器与电动伸缩杆，所述放置台固定连接在外壳的底部内壁，所述电机固定连接在外壳的底部内壁，电机输出轴的左侧固定连接有螺纹柱，通过电动伸缩杆与固定机构和升降机构的配合，实现了将晶圆固定住，防止对

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218101189 U (45)授权公告日 2022.12.20 (21)申请号 202222073981.5 (22)申请日 2022.08.08 (73)专利权人上海博纳微电子设备有限公司地址