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- 2023-01-05 发布于四川
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本实用新型涉及红外光源领域，特别是涉及一种MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，包括衬底、支撑层以及发射层。衬底结构上负载MEMS光源的发光结构。其中，衬底上表面的中央设有向下凹陷的凹坑，凹坑包括一个水平的底面以及呈坡面状的侧壁。凹坑的上口至少完整覆盖上方的红外发射层。反射层完整覆盖在衬底中凹坑的内壁上；反射层用于反射2‑14微米波长的红外线。支撑层覆盖在衬底上表面，支撑层和衬底呈四边固支结构相接，二者之间形成空腔结构。支撑层中设有与下方的衬底中的凹坑连通的牺牲窗口
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218202203 U
(45)授权公告日 2023.01.03
(21)申请号 202222813687.3
(22)申请日 2022.10.25
(73)专利权人 微集电科技（苏州）有限公司
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