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一种带有喷嘴的CVD反应器.pdfVIP

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  • 2023-01-08 发布于北京
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一种带有喷嘴的CVD反应器.pdf

    本实用新型涉及一种带有喷嘴的CVD反应器，包括炉体、CVD反应器、传动组件、公转喷嘴组件和自转喷嘴组件，炉体的顶部固定安装有传动箱；传动组件设置在传动箱的内部，公转喷嘴组件设置在CVD反应器外侧的底部，自转喷嘴组件设置在公转喷嘴组件的两端；传动组件用于带动CVD反应器进行旋转；公转喷嘴组件带动自转喷嘴组件进行旋转。本实用新型的有益效果在于，在CVD反应设备技术领域中，通过外界的设备将原料气输送到CVD反应器中，再驱动传动组件带动CVD反应器进行旋转进行充分的混合原料气，同时利用公转喷嘴组件和自转

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218232569 U (45)授权公告日 2023.01.06 (21)申请号 202222600040.2 (22)申请日 2022.09.29 (73)专利权人 苏州耀德半导体有限公司 地址 2

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