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吸盘及晶圆手臂.pdfVIP

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  • 2023-01-09 发布于四川
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吸盘及晶圆手臂.pdf

    本实用新型属于半导体生产制造技术领域，公开了吸盘及晶圆手臂。该吸盘用于承载并吸附晶圆，包括若干个设于本体上的吸附点，吸附点能吸附晶圆底面，以使晶圆固定在吸盘上；吸附点包括开设于本体上的吸附孔和设于吸附孔内的弹性件，当晶圆底面吸附在吸附点上时，弹性件能沿着吸附孔轴线方向伸缩以使吸附点适应晶圆底面的形状；设于本体上的抽气孔，抽气孔与吸附孔通过第一气流通道连通，通过抽气孔能将第一气流通道抽真空，并使晶圆吸附在吸附点上；晶圆手臂包括以上吸盘和夹持件，夹持件能通过安装孔与夹持件连接。吸盘具有更大的吸附力，

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218241799 U (45)授权公告日 2023.01.06 (21)申请号 202222455707.4 (22)申请日 2022.09.16 (73)专利权人 上海众鸿半导体设备有限公司 地址

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