微型隔膜真空泵.pdfVIP

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2023-01-13 发布于四川
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微型隔膜真空泵.pdf

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本实用新型公开了一种微型隔膜真空泵，包括泵头、泵体、摇摆组件和马达，泵头上端设有进气口和出气口，泵头内设有第一密封腔，泵体上端连接于泵头下端，泵体内设有第二密封腔，泵体上端设有皮碗，摇摆组件设于安装腔内，摇摆组件上端与皮碗相连接，马达连接于泵体下端，并在泵体和马达之间限定出第三密封腔，马达输出端与摇摆组件连接，泵体侧壁内设有第一进气通道，用以连通进气口和第二密封腔，泵头内设有第二进气通道，用以连通第一密封腔和第二密封腔，泵头内还设有第一排气通道，用以连通第一密封腔和第三密封腔，泵体内还设有第二排

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218266279 U (45)授权公告日 2023.01.10 (21)申请号 202222588061.7 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人深圳市时光电子有限公司地址 5