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本实用新型属于半导体产品检测辅助装置技术领域,具体涉及一种适用于半导体键合后产品检验的可视化托盘,包括透明盖子和主托盘,所述主托盘与透明盖子活动连接;其中,主托盘包括底座、推料槽和轨道,所述轨道设于底座上,所述推料槽开设于轨道上,本实用新型能保护托盘里需检测的产品,解决了检测人员手动操作时存在产品键合后出现塌丝、断丝、金丝变形、异物覆着的问题,可有效提升产品的生产效率和质量。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218299768 U
(45)授权公告日 2023.01.13
(21)申请号 202222478704.2
(22)申请日 2022.09.20
(73)专利权人 上海芯哲微电子科技股份有限公
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