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一种多晶硅还原尾气回收系统.pdfVIP

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  • 2023-01-18 发布于四川
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一种多晶硅还原尾气回收系统.pdf

    本实用新型公开一种多晶硅还原尾气回收系统，属于多晶硅生产尾气处理技术领域。包括粗过滤装置、压缩冷凝装置、精馏塔、换热器和高沸裂解反应器，精馏塔与换热器之间设有精密过滤器，精密过滤器与精馏塔上出料口连接，换热器与精密过滤器上出料口连接，高沸裂解反应器连接有产品液暂存罐，产品液暂存罐与多晶硅生产车间中的精馏工段连接，粗过滤装置、压缩冷凝装置、精馏塔、精密过滤器、换热器、高沸裂解反应器、产品液暂存罐及多晶硅生产车间中的精馏工段之间形成还原尾气回收再利用的连续通路。在实现资源回收再利用的前提下，保证对还

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218281050 U (45)授权公告日 2023.01.13 (21)申请号 202221986646.8 (22)申请日 2022.07.29 (73)专利权人 云南通威高纯晶硅

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