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本实用新型公开了一种激光加工用光学系统结构,其包括机架,机架上安装有激光器、连接在激光器出射端的扩束镜组件、连接在扩束镜组件出射端的转折组件、连接在转折组件出射端的反射机构和连接在反射机构出射端的振镜组件,激光器和扩束镜组件、扩束镜组件和转折组件之间均通过中空的遮光棒连接,反射机构包括固定端反射组件和连接在固定端反射组件下方的活动端反射组件,固定端反射组件安装在机架上。本实用新型具有能够快速调整光斑位置,使光斑可以沿XYZ轴移动的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212264876 U
(45)授权公告日 2021.01.01
(21)申请号 202020938288.8
(22)申请日 2020.05.28
(73)专利权人 锡凡半导体无锡有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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