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本实用新型公开了一种激光器分束光路控制系统，该控制系统包括，沿着激光器发射的激光光路依次设置的扩束镜、λ/2波片、分光镜，以及沿着所述分光镜反射光路依次设置的第一衰减器、第一加工头，沿着所述分光镜透射光路依次设置的反射镜、第二衰减器、第二加工头。在第一工作台上设置有第一靶材，由第一加工头对在第一工作台上的第一靶材进行加工。在第二工作台上设置有第二靶材，由第二加工头对在第二工作台上的第二靶材进行加工。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218284118 U
(45)授权公告日 2023.01.13
(21)申请号 202221862446.1
(22)申请日 2022.07.19
(73)专利权人 上海市激光技术研究所
地址 20
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
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