一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置.pdfVIP

一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置.pdf

  1. 1、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。。
  2. 2、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
  3. 3、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
  4. 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
  5. 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们
  6. 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
  7. 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种成分可调的掺杂型二氧化钛薄膜的制备装置,制备装置包括有数个气瓶、真空管式炉和真空泵,其中数个气瓶通过管路与真空管式炉相连接,真空泵通过管路与真空管式炉的内腔相连通。其方法为:步骤一、截取设定长度的钛丝或设定面积的钛片;步骤二、采用真空镀膜机进行薄膜制备;步骤三、将步骤二中镀有钛膜的试样放置于真空管式炉中;步骤四、控制通气后炉内的总气压。有益效果:制备的掺杂型二氧化钛薄膜方法简单,薄膜成分和结构调控方便灵活,制备得到的薄膜表面质量高,涂层结合力好,具有光催化性能和抗菌性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212263279 U (45)授权公告日 2021.01.01 (21)申请号 202021076000.7 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

文档评论(0)

知识产权出版社 + 关注
官方认证
服务提供商

知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

版权声明书
用户编号:8063122115000010
认证主体北京中献电子技术开发有限公司
IP属地四川
统一社会信用代码/组织机构代码
91110108102011667U

1亿VIP精品文档

相关文档