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自感式传感器会计学可变磁阻型自感型差动变压器互感型感应同步器涡流式压磁式传感器第1页/共50页电感式传感器分类:电感式传感器第2页/共50页 电感式传感器的优点： 1.结构简单。工作中没有活动电接触点，因而比电位器工作可靠，寿命长。 2.灵敏度高，分辨力大。能测出0.1mm甚至更小的机械位移变化，能感受小至0.1角秒的微小角度变化。传感器的输出信号强，电压灵敏度一般每毫米可达数百毫伏，因此有利于信号的传输与放大。第3页/共50页 3.重复性好，线性度优良。在一定位移范围（最小几十微米，最大达数十甚至数百毫米）输出特性的线性度好，并且比较稳定，高精度的变磁阻式传感器，非线性误差仅0.1%。 4. 输出功率大、输出阻抗小、抗干扰能力强、对工作环境要求不高。 电感式传感器的缺点： 频率响应差，不宜于快速动态测量，并存在交流零位信号。第4页/共50页6 自感式传感器 6.1 工作原理6.2 变气隙式自感传感器6.3 变面积式自感传感器6.4 螺线管式自感传感器6.5 自感式传感器测量电路6.6 自感式传感器应用举例第5页/共50页6.1 工作原理 Ψ——线圈总磁链,单位：韦伯；I——通过线圈的电流，单位：安培；W——线圈的匝数；Rm——磁路总磁阻，单位：1/亨。线圈自感 a)电感－气隙型.exe气隙型 b)电感－截面型.exe截面型电感－截面型.exe c)电感－螺管型.exe螺管型自感式传感器原理图第6页/共50页 l i ——各段导磁体的长度；U i——各段导磁体的磁导率；S i ——各段导磁体的截面积； δ ——空气隙的厚度；U0 ——真空磁导率S——空气隙截面积变气隙型传感器变截面型传感器 线圈中放入圆形衔铁 可变自感 螺管型传感器。第7页/共50页6 自感式传感器 6.1 工作原理6.2 变气隙式自感传感器6.3 变面积式自感传感器6.4 螺线管式自感传感器6.5 自感式传感器测量电路6.6 自感式传感器应用举例第8页/共50页6.2 变气隙式自感传感器 通常气隙的磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻 L与δ之间是非线性关系 第9页/共50页当衔铁处于初始位置时，初始电感量为当衔铁上移Δδ时，则 ，代入 并整理得第10页/共50页上式用泰勒级数展开成如下的级数形式 同理，当衔铁随被测物体的初始位置向下移动时，有第11页/共50页对式作线性处理，即忽略高次项后可得灵敏度为变间隙式自感传感器的测量范围与灵敏度及线性度是相矛盾的，因此变隙式自感式传感器适用于测量微小位移场合。为了减小非线形误差，实际中广泛采用差动变隙式电感传感器第12页/共50页差动变隙式电感传感器 1-铁芯；2-线圈；3-衔铁当衔铁向上移动时，两个线圈的电感变化量ΔL1、ΔL2 第13页/共50页对上式进行线性处理，即忽略高次项得 灵敏度k0为（1）差动变间隙式自感传感器的灵敏度是单线圈式传感器的两倍。（2）单线圈是忽略 以上高次项，差动式是忽略 以上偶次项， 因此差动式自感式传感器线性度得到明显改善。第14页/共50页*另一种形式：Π型第15页/共50页6 自感式传感器 6.1 工作原理6.2 变气隙式自感传感器6.3 变面积式自感传感器6.4 螺线管式自感传感器6.5 自感式传感器测量电路6.6 自感式传感器应用举例第16页/共50页6.3 变面积式自感传感器传感器气隙长度保持不变，令磁通截面积随被测非电量而变，设铁芯材料和衔铁材料的磁导率相同，则此变面积自感传感器自感L为 灵敏度变面积式自感传感器在忽略气隙磁通边缘效应的条件下，输入与输出呈线性关系；因此可望得到较大的线性范围。但是与变气隙式自感传感器相比，其灵敏度降低。第17页/共50页6 自感式传感器 6.1 工作原理6.2 变气隙式自感传感器6.3 变面积式自感传感器6.4 螺线管式自感传感器6.5 自感式传感器测量电路6.6 自感式传感器应用举例l螺旋管r铁心x第18页/共50页6.4 螺管型自感传感器 有单线圈和差动式两种结构形式。 单线圈螺管型传感器的主要元件为一只螺管线圈和一根圆柱形铁芯。传感器工作时，因铁芯在线圈中伸入长度的变化，引起螺管线圈自感值的变化。当用恒流源激励时，则线圈的输出电压与铁芯的位移量有关。单线圈螺管型传感器结构图第19页/共50页6.4 螺线管式自感传感器1-螺线管线圈Ⅰ；2-螺线管线圈Ⅱ；3-骨架；4-活动铁芯 差动式螺管型传感器结构图L10，L20——分别为线圈Ⅰ、Ⅱ的初始电感值；第20页/共50页当铁芯移动（如右移）后，使右边电感值增加，左边电感值