一种基片清洗支撑结构.pdfVIP

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2023-01-23 发布于四川
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一种基片清洗支撑结构.pdf

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本实用新型公开了一种基片清洗支撑结构，包括支架和多组可拆卸安装于支架顶部的固定机构组，所述支架的中心位置开设有用于与旋转驱动机构相连的竖向的轴孔，多组固定机构组沿轴孔径向间隔布置，每组固定机构组用于固定一个规格的基片，所述基片可通过相应的固定机构组支撑于支架的上方。由此，需要更换不同尺寸的匀胶铬版进行清洗时，只需拆除已清洗的匀胶铬版，再将待清洗的匀胶铬版采用相应的固定机构组固定于支架上，因此无需更换清洗支架，也无需设计多种清洗支架，不仅节约了成本，而且提高了清洗效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212285219 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202020655262.2 (22)申请日 2020.04.26 (73)专利权人长沙韶光铬版有限公司