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本实用新型提供一种降低单晶炉功耗的炉底结构和设有该结构的单晶炉,包括固化毡保温层,所述固化毡保温层铺设在单晶炉底部,所述固化毡保温层顶部设置隔热层,所述隔热层内部设有真空腔体,用于阻断热量传递。本实用新型还提供一种设有该炉底结构的单晶炉。本实用新型的有益效果是提高了单晶炉炉底的保温效果,减少了单晶炉的功耗,降低了单晶硅的生产成本。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218345584 U
(45)授权公告日 2023.01.20
(21)申请号 202222250782.7
(22)申请日 2022.08.25
(73)专利权人 内蒙古中环晶体材料有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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