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本申请实施例中提供了一种线切割机，储液槽中设有具有放电介质功能的切削液，切割区的切割线与待切割棒在切割过程中接触的部分浸入至切削液中，利用浸泡切割区的方式，通过切割线的运动带动切削液进入切割区实现切割区内的冷却及润滑；同时利用切割线进行放电复合加工时，可以获得更充分的冷却条件，改善热损伤，延长切割线的使用寿命，提高晶片的成片质量，消除晶片热应力。沉浸式切削可以让切割线的放电作用得到改善，由于线缝内切削液的实际注入量增多，作为介质的切削液可以帮助放电效应得到实现，充分发挥切割线放电复合加工的优点；
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218341179 U
(45)授权公告日 2023.01.20
(21)申请号 202221665429.9
(22)申请日 2022.06.30
(73)专利权人 青岛高测科技股份有限公司
地址
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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