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一种十二寸晶圆盒解锁装置.pdfVIP

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  • 2023-01-28 发布于四川
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一种十二寸晶圆盒解锁装置.pdf

    本实用新型提出一种十二寸晶圆盒解锁装置，包括承载组件及解锁组件，解锁组件与承载组件位置对应，并与晶圆盒适配，承载组件包括承载座板，该承载座板沿横向布置，承载座板中安装有定位销，定位销顶部向承载座板上方伸出，并与晶圆盒适配，承载座板通过滑动结构安装于承载支架上，承载支架上还设有承载驱动机构，承载座板与承载驱动机构配合，可对承载座板及解锁座板的位置进行精准定位，使解锁过程和密封门移动过程平稳顺畅，有利于提升晶圆盒解锁及晶圆取放过程的精准度，减少各设备对接部位的偏移误差，避免在晶圆盒解锁过程或晶圆取放

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218385140 U (45)授权公告日 2023.01.24 (21)申请号 202222587647.1 (22)申请日 2022.09.28 (73)专利权人 嘉兴微拓电子科技股份有限公司 地址

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