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晶圆全自动贴膜机.pdfVIP

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  • 2023-01-30 发布于四川
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晶圆全自动贴膜机.pdf

    本实用新型涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及晶圆全自动贴膜机，实现全自动化贴膜，提高贴膜效率和质量；包括机架，机架左侧设置有晶圆定位机构和晶圆托举机构，晶圆定位机构处设置有用于放置晶圆的晶圆载具，晶圆托举机构处于晶圆定位机构的前方，机架右侧设置有吸附定位机构、旋转模切机构、晶圆移载机构以及送膜机构。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212303620 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202022351139.4 (22)申请日 2020.10.21 (73)专利权人 开异智能技术（上海）有限公司

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