一种用于CVD涂层设备的铝反应器.pdfVIP

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  • 2023-01-30 发布于四川
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本实用新型涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域,且公开了一种用于CVD涂层设备的铝反应器,包括筒体,所述筒体的外侧固定安装有铝反应器固定板,铝反应器的上盖因为需要频繁拆卸添加铝颗粒,采用锁紧卡箍的方式锁紧,既能保证密封性,又能快速拆卸和安装,上盖上安装有吊环和把手,便于搬运整个铝反应器和拆卸移动上盖,上盖法兰处安装有散热片,可以一定程度上降低上盖法兰O型圈沟槽处的温度,延长了上盖法兰O型圈的使用寿命,降低了成本,同时散热片还可起到挡住筒体加热圈的作用,不让筒体加热圈滑落,出气孔板采用螺丝固定的方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212293739 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202022223966.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020

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