一种拉晶生长装置及单晶硅生产设备.pdfVIP

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2023-01-31 发布于四川
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一种拉晶生长装置及单晶硅生产设备.pdf

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本实用新型公开了一种拉晶生长装置，包括提拉器、水冷器及换热器；所述换热器为筒状换热器，所述筒状换热器的直径从靠近固液界面的一端向远离固液界面的一端逐渐扩大；所述换热器的内壁包括多个沿所述提拉器的提拉方向排列的吸热凹坑；所述提拉器的提拉方向与所述筒状换热器的轴线方向相同，且穿过所述筒状换热器的孔洞；所述水冷器与所述换热器接触设置，所述换热器通过所述水冷器与外界热交换。本实用新型通过在所述换热器的内壁设置所述吸热凹坑，增加了所述换热器与晶棒间的换热面积，通过凹陷的吸热凹坑使来自所述晶棒的热辐射在凹坑

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212316278 U (45)授权公告日 2021.01.08 (21)申请号 202020676577.5 (22)申请日 2020.04.28 (73)专利权人四川晶科能源有限公司