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本实用新型提供一种气体输运系统及具有其的MOCVD设备，气体输运系统包括MO源容器、水浴加热槽、载气进气管和气源系统，MO源容器设于水浴加热槽中，其顶端设有进气端和出气端，载气进气管和气源系统相连，气体输运系统还包括设于水浴加热槽内的进气加热管，进气加热管为多段折弯结构，其两端分别与载气进气管以及进气端相连，通过在载气进气管和MO源容器之间设置一位于水浴加热槽内的进气加热管，使得载气再进入MO源容器之前，先对其进行加热，以避免车间环境温度对载气温度的影响，从而使从MO源出气端流出的载气所带出的M
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212316242 U
(45)授权公告日 2021.01.08
(21)申请号 202022265463.4
(22)申请日 2020.10.12
(73)专利权人 聚灿光电科技（宿迁）有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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