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用于清理托盘表面硅膜层的装置.pdfVIP

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  • 2023-02-02 发布于四川
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用于清理托盘表面硅膜层的装置.pdf

    本实用新型提供一种用于清理托盘表面硅膜层的装置。该装置包括：托盘承载台，其用于承载覆盖有硅膜层的待清理托盘；激光模块，其包括用于产生预设激光的激光源以及用于输出所述预设激光对应的预设光斑到待清理托盘表面的待清理区域以轰击其上的硅膜层形成硅粉末的激光头；吸尘装置，其用于吸附收集所述激光头轰击形成的硅粉末；以及驱动模块，其用于驱使所述激光头输出所述预设光斑轰击待清理区域上的硅膜层，以使所述硅膜层爆开脱离待清理托盘形成硅粉末，并用于驱使吸尘装置跟随激光头运动并吸附收集所形成的硅粉末。本实用新型能高效、

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212330014 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202020462852.3 (22)申请日 2020.04.02 (73)专利权人 上海理想万里晖薄膜设备有限公

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