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本实用新型提供了一种用于晶体生长炉的减震装置,包括连接管路,所述连接管路包括用于连接晶体生长炉和真空泵的真空管路,所述真空管路外侧依次设置有阻尼材料填充层和空气管路层;空气减震装置,所述空气减震装置包括第一空气垫、第二空气垫和充气装置,所述第一空气垫用于连接真空泵的底部,所述第二空气垫用于连接晶体生长炉的底部,所述充气装置分别与第一空气垫、第二空气垫和空气管路层连通。本实用新型通过在真空管路外侧设置阻尼材料填充层和真空管路层,通过阻尼材料填充层和空气管路层的双重减震,显著降低了真空管路的震动,且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212338011 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202020630350.7
(22)申请日 2020.04.23
(73)专利权人 山东天岳先进科技股份有限公司
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