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一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置.pdf

    本实用新型公开了一种半导体外环研磨设备的研磨液自动供给输送装置，包括支撑框架下部一侧设有研磨液存储装置，另一侧设有纯净水存储桶，所述支撑框架上部一侧设有三通转换阀门，另一侧设有流量控制泵；所述研磨液存储装置通过输液管路与三通转换阀门的A口相连，所述纯净水存储桶通过输水管路与三通转换阀门的B口相连，所述三通转换阀门的C口连接输出管路，所述输出管路与流量控制泵相连；所述支撑框架的底板上还设有变频电机，该变频电机输出轴的端部伸进研磨液存储装置中，所述端部设有搅拌桨叶。本申请能实现对研磨液流速的精准控制

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212330719 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202021470889.7 (22)申请日 2020.07.23 (73)专利权人 富乐德科技发展（大连）有限公司

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